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piezomotor LEGS XY精密平台

【简介】piezomotor LEGS XY精密平台
集成了双轴定位功能,配备光学定位系统和两种力控选项。

16 × 16 毫米
X-Y 方向的移动

6 N / 20 N
各轴上的力

40 纳米
编码器分辨率
一款专为实现稳定、可重复定位而设计的精密平台
XY系列将两个闭环轴与光学通孔相结合。两种型号均提供X轴±8毫米和Y轴±8毫米的行程;客户可选择每轴6牛顿或20牛顿的堵转力。

产品型号:LEGS LLS-XY
更新时间:2026-09-22
厂商性质:经销商
访问量:43
产品介绍
品牌其他品牌价格区间5万-10万
应用领域生物产业,航空航天,制药/生物制药,半导体,机械设备
  • X ±8 毫米和 Y ±8 毫米

  • 每轴6 N或20 N的失速力

  • 每轴40纳米编码器分辨率

  • 光学孔径

  • 2千克承重能力

  • 双轴 PMSD402 控制

微小的动作,巨大的影响。

当精度决定性能时,每一个动作都至关重要。Piezo LEGS® 技术能够实现直接、可控的运动,且无需传统传动机构带来的复杂性。

40 纳米的分辨率,满足高精度定位的需求。

在电机不持续供电的情况下保持X-Y位置。

带开口的集成双轴平台。

典型应用

  • 显微镜与标本定位

  • 带载物台穿透式通道的光学成像

  • 晶圆、传感器和探测器的对准

  • 精密测绘与计量学

  • 激光与光子学对准

这能实现什么

  • 放置样品时,应确保光路通过载物台孔洞时无任何阻挡。

  • 利用可重复的闭环运动,绘制表面或传感器响应的二维坐标图。

  • 无需堆叠独立的单轴舞台,即可沿X轴和Y轴对准光学或光子学元件。

技术规格

型号

运动范围

失速力

加载

速度

重量

LLS-XY-06-16-C-E40

X ±8 毫米;Y ±8 毫米

每轴6 N

2 公斤

5 毫米/秒

2.5 千克

LLS-XY-20-16-C-E40

X ±8 毫米;Y ±8 毫米

每轴 20 N

2 公斤

5 毫米/秒

2.5 千克

共享平台规格

Piezo LEGS® 精密平台的应用

半导体设备

高分辨率聚焦,发热量极低,且具有出色的静态稳定性。

piezomotor LEGS XY精密平台
半导体设备

尺寸检测与校准

可靠、可重复的运动,用于测量验证和设备校准。

piezomotor LEGS XY精密平台
尺寸检测与校准

光学对准

紧凑型多轴定位系统,用于光学元件的精确对准。

piezomotor LEGS XY精密平台
光学对准

显微镜技术

低轮廓、可重复的运动,用于自动样品扫描和物镜定位。

piezomotor LEGS XY精密平台

显微镜技术

高精度激光定位

精确的多轴定位,用于将激光能量导向样品和组件。

piezomotor LEGS XY精密平台
激光定位


规格

系列规格

编码器分辨率

40 纳米(X/Y)

定位重复性

±40 纳米(X/Y)

机身材质

铝

推荐控制器

PMSD402

舞台电缆

CKS-20,2 米;具体数量待定


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