Get Control三轴加速度计测试工具

AMHS及输送带制造商在系统开发、安装和维护过程中，会使用三轴加速度计测试工具来评估系统的振动特性。这一行业标准工具被200毫米和300毫米级芯片制造厂所采用，用于检测物料处理系统对晶圆带来的振动影响。通过及时发现轨道偏差的早期迹象，可以采取措施降低晶圆所受到的振动影响。三轴加速度计测试工具既可以作为独立设备使用，也可以与GCI信息中心配合使用，通过RFID技术实现自动数据记录功能。

Get Control三轴加速度计测试工具为AMHS供应商及最终用户提供了精准的振动检测解决方案。该工具能够在产品自动或手动运输过程中，同时采集并记录X、Y、Z轴方向的振动数据。

三轴加速度计测试工具采用电池供电，结构上为独立式设计。该工具配有适配板，可用于将其牢固地安装在300毫米的FOUP中。对于200毫米尺寸的晶圆，还可以购买相应的安装板，以便将工具固定在200毫米的晶圆载具中。LCD显示屏和键盘则用于设置各种参数。

机载数据压缩

三轴加速度计测试工具能够对每个轴上的512个数据点进行实时处理。该工具提供了多种数据处理选项，包括均方根值、峰值、峰值频率以及真实均方根值。数据处理是以半秒为间隔进行的（通过FFT技术），每种处理方式下，每个轴每秒可生成两个处理后的数据点。记录容量则取决于所使用的处理方式，最大为两到六小时。

经过压缩后的数据会被存储在带电池支持的RAM中，直到下一次录音开始时，这些数据都可以被上传到电脑上。系统还配备了RS-232接口，可以通过标准的终端软件（如Microsoft® Windows Hyperterm）来上传数据。这些数据以格式化的ASCII文本形式存在，可以导入到各种电子表格软件中进行分析。

时域记录选项

三轴加速度计测试工具还可以选择配备时域记录功能，该功能可将时域数据存储到安全数字存储卡中。启用此功能后，三轴加速度计测试工具能够以每秒每个轴512个数据点的速度将数据直接存储到SD卡上。存储容量受SD卡可用空间的限制，最大可存储24小时的数据。在PC上，可通过GCI的VibPlot应用程序来实现数据简化处理。

VibPlot分析应用

VibPlot提供了用于对记录下来的时域数据进行分析的工具。VibPlot具备与三轴加速度计测试工具相同的 数据处理功能，同时还提供了更多分析功能，比如三维瀑布图和彩色频谱图。该工具可以显示时域数据，以及经过处理的数值的图表（如均方根值、峰值、真实均方根值），还有每1/2秒间隔内的FFT分析结果。

特点

轴

• X、Y和Z

测量值

• 频率：直流至150赫兹

• 振动幅度为0.03g至2.00g（±0.01g）

电池/充电器

• 可充电镍镉电池组

• 高级电池充电电路

• 锂电池可为静态RAM提供备份支持——其使用寿命可达10年（即正常工作时长）。

• 低电量检测及警示指示灯。

数据分析类型

• RMS

• 峰值

• 均方根值与峰值

• 均方根值、峰值与频率

• 有效值、峰值、频率、真有效值以及N值

用户界面

• 2 × 16字符LCD

• 4键键盘

闪存PROM

• 存储系统固件

• 可通过GCI提供的固件文件轻松升级（仅域版本）

RS-232接口

• 提供一个RS-232端口，用于将存储的数据下载到主机电脑上。该端口还用于给镍镉电池充电