【简介】sens4 ATM真空传感器VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体行业中的负载锁定式精确压力控制以及那些需要准确测量相对于大气压的压力的真空应用而设计。
与传统的负载锁传感器以及其他同类产品相比，它具有更出色的性能：测量范围更广、精度更高，且测量速度更快。
SmartPirani™ ATM通过将皮拉尼式热导率真空计的可用测量范围扩大1到3个数量级，从而设立了新的标准。

sens4 ATM真空传感器VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体行业中的负载锁定式精确压力控制以及那些需要准确测量相对于大气压的压力的真空应用而设计。

与传统的负载锁传感器以及其他同类产品相比，它具有更出色的性能：测量范围更广、精度更高，且测量速度更快。

sens4 ATM真空传感器SmartPirani™ ATM通过将皮拉尼式热导率真空计的可用测量范围扩大1到3个数量级，从而设立了新的标准。

可靠的设定值继电器控制

三个独立的固态开关继电器可实现对负载锁定压力循环的外部控制，包括泵、阀门、安全互锁电路、PLC以及其他设备。

与机电式继电器不同，固态继电器具有更高的可靠性以及更快的切换速度；其触点不会产生电弧，且在切换过程中也不会产生电磁干扰。

SmartPirani™ ATM继电器经过特殊设计，具备出色的耐用性。它已通过UL认证、CSA认可，同时还获得了EN/IEC 60950-1标准认证，因此能够在要求严格的真空处理以及高频率使用场景中提供可靠的性能表现。

模拟输出

模拟输出电压可用于为外部设备提供监测或控制信号。VPM-7能够以每十个单位对应1伏特直流电的标准方式，输出与mbar、Torr或帕斯卡相对应的电压值。

此外，它还可以根据用户需求进行配置，或预先设置多种模拟输出选项，从而能够轻松替换其他制造商生产的仪表。

数字接口技术

RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。

该数字接口支持诊断、预测性维护、设备维护、校准、设定值配置、模拟输出调整，同时还能实时采集真空压力数据以便在屏幕上显示。

耐腐蚀传感器

通常，负载锁定装置内部是清洁的，且不存在腐蚀性气体。不过，借助可选的耐腐蚀传感器，VPM-7 SmartPirani™ ATM仍可在存在强腐蚀性化学物质或残留蚀刻气体的环境中使用。

陶瓷是一种具有高耐腐蚀性的材料，常用于电容式膜式压力表的真空传感器隔膜中。

聚对二甲苯是一种独特的聚合物，以其出色的耐腐蚀性和疏水性能而闻名。

电子显微镜

将真空度测量、相对于环境压力的测量与VPM-7智能皮拉尼大气压计结合使用。

PVD涂层

配备有效隔板防护装置的VPM-7，能够用于PVD涂层处理工艺中，并且具有较长的使用寿命。可精准控制真空系统的排气过程。