sens4 ATM真空传感器

【简介】sens4 ATM真空传感器VPM-17 TriCAP™ ATM传感器作为一种一体式测量解决方案，为各种真空应用领域设立了新的标准。与其他真空计不同，它能够在5.0E-3到1333 mbar的范围内进行高效、准确的测量，同时还能以Pirani技术实现低至1E-6 mbar级别的压力测量。

Name: sens4 ATM真空传感器VPM-17 TriCAP
Brand: 其他品牌
Price: 9999 CNY
Availability: InStock

产品型号：VPM-17 TriCAP

更新时间：2026-10-26

厂商性质：经销商

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产品介绍

品牌	其他品牌	价格区间	5千-1万
产地类别	进口	应用领域	化工,航空航天,综合,半导体,机械设备

sens4 ATM真空传感器VPM-17 TriCAP™ ATM传感器作为一种一体式测量解决方案，为各种真空应用领域设立了新的标准。与其他真空计不同，它能够在5.0E-3到1333 mbar的范围内进行高效、准确的测量，同时还能以Pirani技术实现低至1E-6 mbar级别的压力测量。

在气体成分或类型可能发生变化的真空环境中，传统且依赖气体特性的皮拉尼压力计会导致测量误差。TriCAP™ ATM传感器采用了精密电容式隔膜压力传感器，因此无需考虑气体的特性，即便气体性质发生变化，也能实现精确的测量。

除了能够进行真空度测量外，VPM-17还能以大气压为基准来测量压力，从而实现对真空系统排气过程的精确控制。

CDG自动零点调整功能

这种集成式热损失MEMS皮拉尼传感器能够将测量范围扩展到1E-6毫巴级别。此外，它还具备创新的自动零点调整功能，因此无需像传统的电容式压力表那样手动进行零点校准。用户无需按下按钮来设置零点——只需将压力降至自动零点，电容式压力表就会自动调整好，从而可以准确地进行测量。

模拟输出

提供了多种模拟输出比例调节选项，可用于模拟其他厂商的真空表及传感器。

可选的辅助模拟输出功能，可对外部监测全量程真空压力以及相对于大气压的压力信号。

模拟输出电压可用于为外部读取或控制装置提供信号。VPM-17的标准输出信号为1VDC/每十个单位mbar、托尔或帕斯卡。

连接数字世界

RS-232和RS-485串行接口可用于将压力和温度测量数据传输至外部设备。

该数字接口可用于诊断、预测性维护、设备维修、校准、设定点配置、模拟输出值调整，同时还能采集实时真空压力数据，以便在屏幕上显示。

配有配套的数据记录软件，便于与PC连接。

可靠的设定值继电器控制

这三个独立的固态开关继电器可用于控制外部设备，如泵、阀门以及安全联锁电路。

与机电式继电器不同，固态继电器具有更高的可靠性与更快的开关速度，其触点不会产生电弧，且在开关过程中也不会产生电磁干扰。

TriCAP™继电器经过特殊设计，具备出色的耐用性。它已通过UL认证、CSA认可，并获得了EN/IEC 60950-1标准认证，因此能够可靠地用于控制那些对精度要求高的真空处理流程以及需要高频运行的应用场景。

其他供应商兼容性

VPM-17 TriCAP™ ATM传感器具备引脚兼容性，能够模拟模拟电压压力信号，同时还能与其它厂商生产的真空传感器及发射器实现数字协议兼容。

这些仿真功能能够快速、无缝地提升传统微皮拉尼传感器的性能，从而无需更换电缆及系统设备软件，即可实现向新一代真空传感器的过渡。

VPM-17 TriCAP™ ATM在替代传统的真空计与传感器时，能够在多种应用场景中提升测量性能。

其他厂商的仿真功能也能实现与其他厂商的控制器及显示单元的兼容。

自定义设置

VPM-17传感器可按照特定需求进行定制配置，以便满足不同的应用要求，从而可以直接用于相应的设备中。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定值配置以及输出信号的比例调整等。

定制产品会被赋予的部件编号，以便日后能够轻松、直接地重新订购。

应用与市场

VPM-17 TriCAP™专为精确测量与控制复杂的真空工艺而设计，可广泛应用于工业和科学领域的各种场景。它有多种配置可供选择，从而满足不同应用需求。

氢气供应

氢气储存罐及输送管线中绝缘真空度的测量与监测。

半导体

半导体应用中的CVD、PVD工艺以及前沿区域真空度检测。有耐腐蚀的陶瓷传感器可供选用。

质谱仪

充分利用VPM-5在质谱仪器中提供的低压力测量功能。

PVD涂层

配备有效隔板保护的VPM-17，可应用于物理气相沉积涂层工艺中，并具备较长的使用寿命。

炉子

在真空热处理过程中对真空度进行监测与控制。针对工业应用，还可提供可选的挡板以及涂层保护装置。

CDG自动零点调整功能

支持在高要求应用中的使用

模拟输出

连接数字世界

可靠的设定值继电器控制

其他供应商兼容性

自定义设置

应用与市场

氢气供应

半导体

质谱仪

PVD涂层

炉子

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