Logosol独立式预对准器

【简介】Logosol独立式预对准器LPA26-3
Logosol久经考验的技术和高可靠性标准，是业界的预对准器产品线的基础。预对准器产品系列支持处理从45毫米到480毫米的物体，并可应对从不透明到透明的各种透明度。Logosol独特的集成化设计和多功能控制软件，使其能够即插即用地兼容各种半导体平台并实现接口对接。

Name: Logosol独立式预对准器Logosol LPA26-3
Brand: 其他品牌
Price: 100000 CNY
Availability: InStock

产品型号：Logosol LPA26-3

更新时间：2026-09-22

厂商性质：经销商

访问量：49

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产品介绍

品牌	其他品牌	价格区间	10万-30万
应用领域	半导体

独立式预对准器LPA26-3/晶圆寻边器LPA26-3

Logosol独立式预对准器

用于45毫米至480毫米物体（包括方形和双层基板）高精度对准的自主设备，具备无需机械重新定位即可处理多种尺寸物体的单机能力，支持卡盘装载和销钉装载模式，并提供高精度选项。

Logosol独立式预对准器

晶圆直径：2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米

晶圆透明度：透明、半透明、不透明

适用方形基板

晶圆处理方式：真空卡盘和销钉

对准精度：预对准器卡盘上±25微米

角度精度

（3 Sigma）

10000 CPR编码器：预对准器卡盘上±0.04°

24000 CPR编码器：预对准器卡盘上±0.02°

伺服轴数：三轴

上位机通信：RS232、以太网

初始晶圆偏移量：10毫米（2英寸晶圆为6毫米）

机身尺寸（宽×长×高）：173毫米×267毫米×190毫米

安装尺寸兼容性：LPA38-3、LPA58-3

LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3

重量：5.00千克

设施要求：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A

真空：12英寸汞柱

平边/缺口兼容性：符合SEMI标准

平均运行时间（MTBF）：超过70000小时

Logosol独立式预对准器

用于对45毫米至480毫米大小的物体进行高精度定位的自主式设备，可处理方形及双层结构的基板；无需通过机械方式重新调整位置，即可单独处理不同尺寸的物体；具备卡盘固定和销钉固定两种工作模式，并提供高精度选项。

嵌入式

这是一种具有成本效益的定位装置，可用于高速晶圆传输系统，能够实现45毫米至480毫米尺寸的物体的精准定位，同时还能轻松与市面上的各种机器人相集成。该装置具备高精度，且提供多种卡盘尺寸及材质选择。

边缘处理

这种创新的自主式装置采用了无夹持力的被动式边缘接触技术，堪称Logosol公司针对传统边缘夹持式预对齐技术的替代方案；该技术能够避免对晶圆造成任何应力，同时确保在处理75毫米至300毫米大小的工件时保持程度的清洁度。该产品有标准型号和高精度型号可供选择。

快速交换

基于专有设计的高通量预对准装置，具备快速切换功能，可实现在针脚下方对晶圆夹具进行装载。

定制

Logosol拥有丰富的预对准器产品系列，其技术基础是我们自主设计并开发的——从硅材料与机械结构设计，到运动控制及软件系统，所有环节都由我们自行掌控。这种垂直整合模式，再加上我们30年来在为各种应用场景开发预对准器方面的丰富经验，使得我们能够为那些无法通过标准型号满足需求的客户提供解决方案。

Logosol独立式预对准器

嵌入式

边缘处理

快速交换

定制

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