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产品介绍| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 10万-30万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体 |
LPA812-3寻边器/预对准器
创新的高性能一体化设计,省去了外部控制器和互连电缆,同时保持即插即用的兼容性
采用超低惯性无刷电机驱动,响应平滑、即时
扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明物体,无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件配备了一套全面的常用命令,可与各种半导体平台实现兼容和接口对接
典型对准周期时间少于四秒,有助于实现系统吞吐量
LPA812-3寻边器/预对准器
晶圆直径:200毫米、300毫米
晶圆透明度:透明、半透明、不透明
适用方形基板
晶圆处理方式:真空卡盘和销钉
对准精度:预对准器卡盘上±25微米
角度精度
(3 Sigma)
10000 CPR编码器:预对准器卡盘上±0.04°
24000 CPR编码器:预对准器卡盘上±0.02°
伺服轴数:三轴
上位机通信:RS232、以太网
初始晶圆偏移量:12毫米
机身尺寸(宽×长×高):173毫米×317毫米×190毫米
安装尺寸兼容性:LPA312-3、LPA1218-3
LPA8ET-3、LPA12ET-3
重量:5.40千克
设施要求:100-240VAC,50/60Hz,48VA,或24VDC/2A
真空:12英寸汞柱
平边/缺口兼容性:符合SEMI标准
洁净度等级:1级
平均时间(MTBF):超过70000小时
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