预对准器/寻边器

【简介】Logosol预对准器/寻边器久经考验的技术和高可靠性标准，是业界的预对准器产品线的基础。预对准器产品系列支持处理从45毫米到480毫米的物体，并可应对从不透明到透明的各种透明度。Logosol独特的集成化设计和多功能控制软件，使其能够即插即用地兼容各种半导体平台并实现接口对接。

Name: 预对准器/寻边器Logosol LPA312-1E
Brand: 其他品牌
Price: 100000 CNY
Availability: InStock

产品型号：Logosol LPA312-1E

更新时间：2026-10-24

厂商性质：经销商

访问量：41

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产品介绍

品牌	其他品牌	价格区间	10万-30万
应用领域	半导体

LPA312-1E预对准器，Logosol晶圆寻边器，Logosol LPA系列寻边器，Logosol晶圆预对准器

Logosol预对准器/寻边器

创新的高性能一体化设计，省去了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用的兼容性

采用超低惯性无刷电机驱动，响应平滑、即时

扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位

运动控制软件配备了一套全面的常用命令，可与各种半导体平台实现兼容和接口对接

典型对准周期时间少于四秒，有助于实现系统吞吐量

Logosol预对准器/寻边器参数

晶圆直径：3英寸、100毫米、125毫米、150毫米、200毫米、300毫米
晶圆透明度：透明、半透明、不透明
适用方形基板
晶圆处理方式：真空卡盘
对准精度：预对准器卡盘上±50微米
角度精度
（3 Sigma）
10000 CPR编码器：预对准器卡盘上±0.06°
24000 CPR编码器：预对准器卡盘上±0.04°
伺服轴数：单轴
上位机通信：RS232、以太网
初始晶圆偏移量：10毫米
机身尺寸（宽×长×高）：95毫米×266毫米×191毫米
安装尺寸兼容性：LPA25-1E、LPA38-1E、LPA58-1E、LPA812-1E、LPA1218-1E
重量：3.50千克
设施要求：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A
真空：12英寸汞柱
平边/缺口兼容性：符合SEMI标准
洁净度等级：1级
平均运行时间（MTBF）：超过70000小时